クリーンルーム標準的なクリーンルームダストフリーワークショップグレード部門

クリーンルーム（クリーンルーム）は、清潔さの程度に応じて多くのレベルに分かれています。

現在、さまざまな半導体処理およびパネルアセンブリ工場のクリーンルームグレードは、ほとんどが1000と100です。数が少ないほど、清潔さが高くなります。

クリーンルーム（クリーンルーム）1000クラスのコンセプトは次のとおりです。1立方フィートあたり1000個以下のダスト粒子。

クリーンルームのクラス100（クリーンルーム）の概念は次のとおりです。1立方フィートあたり100個以下のダスト粒子。

注：各レベルで制御される粒子サイズも異なります。

米国連邦政府[Federal Atandard（FS）209E、1992]が発行した基準によると、クリーンルーム（クリーンルーム）は6つのレベルに分けることができます。レベル1、10、100、1000、10000、および100000です。

クリーンルーム（クリーンルーム）のレベルがダスト粒子の数のみで記述されている場合、ダスト粒子のサイズは0.5 umではなく、クリーンルームレベルは一連の特定で表現する必要があると想定できます。ダスト粒子サイズ。たとえば、レベル10は0.2um（ダストサイズは0.2um以上、密度は75/立方フィート以下です）、レベル1は0.1um（ダストサイズは0.1um、密度は35以下）ピースです）立方フィートあたり）。統合回路製造に必要なクリーンルームは、1000を超える清潔さレベルを持っている必要があります。

まず、連邦仕様のクリーンルームレベル

今日、米国が設定した連邦仕様は一般に追求されており、BCRは生物学的粒子の制限のNASA仕様を指します。 FED.STDの清潔さは、0.5μm以上の微粒子が1フィート3の空気に含まれており、[グレード○○]と呼ばれることによって表されます。たとえば、空中に10以下がある場合、「レベル10」として表現されます。第二に、自然の大気には通常、300,000〜30,000,000粒子が含まれています。 JIS標準では、クリーンルームの清潔さは8レベルに分かれています。一般的な清潔さとは、レベル1、2、8、および8に分割される清潔さのレベルを指します。1m ^ 3の空気では、粒子直径0.1μmのダストは10以下の場合は1です。 ; 100以下は100 = 102です。グレード2です。千件以下は1000 = 103グレード3などです。

第二に、クリーンルーム - クリーンルーム（クリーンルーム）標準グレード

米国連邦標準209E（1992）PC/FT3

清潔さレベル：粒子サイズ（um）