クリーンルーム標準的なクリーンルームダストフリーワークショップグレード部門

現在、さまざまな半導体処理およびパネルアセンブリ工場のクリーンルームグレードは、ほとんどが1000と100です。数が少ないほど、清潔さが高くなります。

クリーンルーム（クリーンルーム）1000クラスのコンセプトは次のとおりです。1立方フィートあたり1000個以下のダスト粒子。

クリーンルームのクラス100（クリーンルーム）の概念は次のとおりです。1立方フィートあたり100個以下のダスト粒子。

注：各レベルで制御される粒子サイズも異なります。

米国連邦政府[Federal Atandard（FS）209E、1992]が発行した基準によると、クリーンルーム（クリーンルーム）は6つのレベルに分けることができます。レベル1、10、100、1000、10000、および100000です。

クリーンルーム（クリーンルーム）のレベルがダスト粒子の数のみで記述されている場合、ダスト粒子のサイズは0.5 umではなく、クリーンルームレベルは一連の特定で表現する必要があると想定できます。ダスト粒子サイズ。たとえば、レベル10は0.2um（ダストサイズは0.2um以上、密度は75/立方フィート以下です）、レベル1は0.1um（ダストサイズは0.1um、密度は35以下）ピースです）立方フィートあたり）。統合回路製造に必要なクリーンルームは、1000を超える清潔さレベルを持っている必要があります。