クリーンルームの知識
January 08, 2024
まず、クリーンルームの定義
クリーンルーム、クリーンルームまたはクリーンルームとも呼ばれます。
それは、特定の空間での空気中の汚染物質、有害な空気、細菌などを除去することを指し、温度、清潔さ、屋内圧力、気流の速度と気流の分布、騒音振動と照明、および部屋の静電気を制御します。需要の範囲内で、部屋は特別に設計されています。つまり、外部の空気条件がどのように変化しても、内部は、元の要件で必要な清潔さ、温度、湿度、圧力を維持する特性を持つことができます。
第二に、クリーンルームの役割
主な役割は、クリーンルームのZui製品（シリコンチップなど）と温度を制御することです。その日の接触の清潔さの日の温度で、製品は宇宙、製造の良い環境で生産できるようにします。
第三に、クリーンルームコントロールプロジェクト
1.空気中に浮かぶほこの粒子を除去できます。
2.ダスト粒子の生成を防ぐことができます。
3.温度と湿度の制御。
4.圧力の調整。
5.有害なガスの除外。
6.構造とコンパートメントの気密性。
7.静的予防。
8.電磁干渉防止。
9.安全因子の考慮。
10.省エネの考慮事項。
第4に、クリーンルームの分類
1.乱流：
空気はクリーンルームからクリーンダクトとクリーンルームのエアフィルター（HEPA）を通ってクリーンルームに入り、パーティションの壁パネルまたはクリーンルームの両側の上昇した床から空気に戻ります。気流は非線形運動で動き、不規則な乱流または渦電流状態にあります。このタイプは、 1,000〜100,000のクリーンルームグレードに適しています。
利点：単純な構造、システムの建設コスト、クリーンルームの拡張は比較的簡単です。いくつかの特別な目的の場所では、クリーンルームレベルを改善するために、ほこりのないワークベンチを一緒に使用できます。
短所：乱流によって引き起こされるダスト粒子は、プロセス製品を簡単に汚染するのが簡単な屋内スペースでの排出が困難です。さらに、システムが停止してからアクティブ化された場合、需要の清潔さに到達するには長い時間がかかります。
2.ラミナー：
層流の空気の流れは均一な線形形状に移動します。空気は、 100％のカバレッジでフィルターから部屋に入り、上昇した床または両側のパーティションプレートによって返されます。このタイプは、クリーンルームレベルを高める必要がある環境に適しています。使用すると、一般的にクリーンルームグレードはクラス1〜100です。そのタイプは、2つのタイプに分けることができます。
（1）水平層流の種類：水平空気はフィルターから一方向に吹き飛ばされ、反対側の壁の帰還空気システムが風に戻り、塵は風の方向で外側に排出され、下流側の汚染は一般的に深刻です。
利点：構造は単純で、操作後すぐに安定化できます。
短所：建設コストは乱流よりも高く、屋内スペースを拡大するのは簡単ではありません。
（2）垂直層流：部屋の天井はULPAフィルターで完全に覆われており、空気は上から下に吹き付けられており、より高い清潔さを得ることができます。プロセス中にスタッフによって発生した粉塵または労働者は、他の作業エリアに影響を与えることなく、すぐに外で放電することができます。
利点：簡単な管理、短期間で安定した操作、および操作ステータスまたはオペレーターの影響を受けるのは困難です。
短所：建設コストが高い、スペースの柔軟な使用の難しさ、天井ハンガーがかなりのスペースを占有し、フィルターのメンテナンスと交換はより厄介です。
3.式の化合物（混合タイプ）：
複合タイプは、乱流と層流の流れを組み合わせて、部分的に超きれいな空気を提供します。
（1）クリーントンネル： HEPAまたはULPAフィルターを備えたプロセスエリアまたは作業エリアの100％カバレッジは、清潔さレベルを10を超えて増加させ、設置と運用コストを節約します。
このタイプは、機械のメンテナンス中の作業と品質を避けるために、オペレーターの作業領域を製品と機械のメンテナンスから分離する必要があります。 ULSIプロセスは主にこのタイプを使用しています。
清潔なトンネルには他に2つの利点があります。A 。弾性拡張は簡単です。 B.機器の修理時にメンテナンスエリアで簡単に実行できます。
（2）クリーンパイプライン（クリーンチューブ）：包囲された自動生産ラインを通る製品の流れと精製、清潔さレベルは100以上を提供します。製品とオペレーターとダスト環境は互いに分離されているため、少量の空気を使用して、エネルギーを節約できる清潔さを得るために使用でき、手動の自動生産ラインは使用に適していません。医薬品、食品産業、半導体産業に適用できます。
（3）組み合わせたクリーンルーム：クリーンルームの製品プロセスエリアの清潔さレベルをクリーンルームレベル10,000〜100,000〜10〜1000レベルで清掃します。きれいなワークベンチ、クリーンな作業小屋、きれいな空気キャビネットは、このタイプの例です。
クリーンワークベンチ：クラスクラス1〜100 。
クリーンな作品小屋：乱流クリーンルームスペースにある抗静止透明なプラスチック布のための小さなスペース。別のHEPAまたはULPAおよび空調ブロワーグループを使用して高レベルのクリーンスペースになるため、評価は10〜1000グレードです。高さは約2.5メートル、カバレッジエリアは約10m2以下で、4つの柱には可動輪が装備されており、弾力性に使用できます。
第五、クリーンルームの構成
クリーンルームの構成は、次のシステムで構成されています（構成要素システム分子で不可欠です） 。それ以外の場合は、完全で質の高いクリーンルームを構成するものではありません。
（1）天井システム：天井ロッド、 IビームまたはUビーム、天井グリッドまたは天井フレームを含む。
（2）エアコンシステム：エアキャビン、フィルターシステム、風車などを含む
（3）分配壁：窓とドアを含む。
（4）床：上昇した床または抗静脈の床を含む。
（5）照明器具：蛍光灯、黄色のランプなどを含む。
クリーンルームの主な構造は一般に鋼鉄または骨セメントでできていますが、構造が何であれ、次の条件を満たす必要があります。
A.温度の変化と振動のために亀裂はありません。
B.ダスト粒子を生成するのは容易ではなく、粒子に接着することは困難です。
C.低吸湿性;
D.屋内湿度の状態を維持するために、熱断熱が高い。
6番目、クリーンルームは使用に応じて分類されます（2つのカテゴリに分けることができます）
（ 1 ）、産業用クリーンルーム-無生物粒子の制御。それは主に、空気ダスト粒子によって作動オブジェクトの汚染を制御し、内部は一般に正の圧力状態を維持します。精密機械産業、エレクトロニクス産業（半導体、統合回路など）航空宇宙産業、高純度化学産業、原子エネルギー産業、光磁気製品産業（ディスク、フィルム、テープ生産） LCD （液晶ガラス）、コンピューターハードディスク、コンピューターヘッドの生産、その他の産業。
（ 2 ）生物学的浄化室。これは、主に生きた粒子（細菌）と無生物粒子（粉塵）によって作動物の汚染を制御します。次のように分けることができます
A.主に微生物（細菌）オブジェクトの汚染を制御する一般的な生物学的クリーンルーム。同時に、その内部材料はさまざまな滅菌剤に耐えることができるはずであり、内部圧力は一般的に保証されています。本質的に、内部材料はさまざまな産業洗浄室に耐えることができるはずです。例：医薬品産業、病院（手術室、滅菌病棟）食品、化粧品、飲料生産、動物実験室、物理的および化学研究所、血液局。
B.生物学的安全クリーンルーム：主に、作業オブジェクトから外の世界や人々への生きた粒子の汚染を制御します。内部は大気との負圧を維持する必要があります。例：細菌学、生物学、クリーンラボ、物理工学（組換え遺伝子、ワクチンの準備）
