クリーンルームのテスト

クリーンルームテスト清潔さテスト

まず、クリーンルームの清潔さの指示

清潔さのテストは、クリーンルームのパフォーマンステストの中核です。気流テスト、ストレステスト、および漏れのテストは、クリーンルームが外部の影響の影響を受けないことを確認するためだけです。したがって、清浄度テストはすべて上記のテストで渡されます。その後。清浄度テストが完了した後、ダストフォールに関連するパフォーマンス因子がテストされます。他のテストは、清潔さにほとんど影響を与えないか、他の環境テストに属します。

第二に、クリーンルームの清潔さのテスト装置

清浄度テストでは、粒子カウンターを使用します。機器は、有効期間内に調整され、それでも校正されなければなりません。資格のあるキャリブレーションドキュメントをレポートに添付する必要があります。パーティクルカウンターには異なる仕様があります。一般的なものは、1cfmの流量です。 Zuiの小さな粒子サイズは、0.3mmまたは0.1mmまで測定できます。ユニットは主に立方インチです。どの機器を使用するかについては、所有者の仕様に依存します。一般に、産業界では、粒子カウンターが次の方法で選択されます。クラス1000以上：0.5μmクラス100：0.3μm、0.5umクラス1からクラス10：0.1μm所有者が必要とする粒子サイズ範囲が単一の粒子カウンターの範囲を超える場合、2つの粒子カウンターを使用する必要があります。現在、市場にはまれな粒子カウンターがあるため、クリーンルームの清潔さがISOに基づいている場合、結果を変換する必要があります。ユニット変換は、上限の計算手順に影響しません。

第三に、クリーンルームの清潔さの検出手順：

（1）エアコンシステムのテスト調整とバランスが完了し、フィルターの風速と漏れテストが完了し、損傷した部品が修復されたことが判断されます。

（2）テスト位置とテストポイントの数を確認します。

（3）サンプリング時間：ポイントあたりのサンプリング時間は、グレードと粒子のサイズによって異なります。サンプリング時間が1分未満の場合、1分です。

（4）テスト位置は、多数の粒子の近くを避けて、クリーンルームに均等に分布する必要があり、テスト機器は適切なガントリーによってサポートされる必要があります。

（5）測定ポイントの数は、式（209Eと同じ）によって計算されます。

第4に、クリーンルームの清潔さのテスト受け入れ基準：

清潔さには2つの受け入れ基準があります。まず、各ポイントでの粒子測定の平均は、指定された値よりも低くなければなりません。清潔さの2番目の受け入れ基準は、コンパートメントが信頼性分析の上限を使用する場合、分析値も指定された値よりも低くなければならないということです。

5.クリーンルームテストのための風速とバランステスト

まず、テストの目的

気流は、清潔さと温度と湿度を制御する主な要因であり、騒音にもある程度の影響を与えます。したがって、風速測定はクリーンルームテストに配置されます。風速測定の目的は、フィルターから送られた気流が設計仕様を満たしていることを確認し、次に気流の均一性を確認することです。場合によっては、サイトの制限により、屋内空気交換の量には、風速に出口領域を掛けた状態で変換する必要があります。

第二に、単一の *方向タイプのクリーンルーム、多くは垂直層流として設計されているため、風速の均一性は非常に重要であり、均一な垂直層流のみが微粒子汚染を効果的に排除できます。非シングル *方向タイプのクリーンルーム。粒子制御の概念は希釈であり、すぐには除外されないため、一般的に、空気交換の量は風速よりもはるかに重要です。ただし、フィルターの風速測定または屋内風速測定のクリーンルームであることに注意する必要があります。

第三に、楽器の使用

クリーンルームで使用されるHEPA/ULPAフィルターは、ほとんどが0.5 m/sの速度で制御されているため、使用される風速計は低速タイプでなければなりません。フィルターの風速測定では、ピクチューブと風速計を備えた電子圧力計などの単一点酵素計を使用できます。 Shortridge Velgrid 16ポイントの風速計などのマルチポイントアンモメーターも使用できます。フランジアンモメーターは、通常、使用範囲が異なるため、クリーンルームでは使用されません。発泡計（ホットワイヤ）の高温応答は低いですが、精度は低速で<0.5m/s未満であるため、あまり適していません。一般的に、熱反応アンモーターは、一般的にThermeister Anemoterで使用されます。回転速度計は、それ自体の体重の問題のため、低速には適していません。検査とバランステスト。圧力損失が生成されるため、その形状は重要であり、元のフードは可能な限り使用する必要があります。自分でカバーを作成する必要がある場合は、滑らかな気流に注意を払い、詳細な比較を行います。フードのキャリブレーションは非常に重要であり、正確な修正値を取得するためにメインユニットで修正する必要があります。キャリブレーションに合格し、まだ有効な機器は、検査に使用されるものとします。適格なキャリブレーション文書は、正式な検査前とレポートが提出された場合に添付されます。