クリーンルームの操作とメンテナンス

硬い機器への投資に加えて、クリーンルームの清潔さのメンテナンスと制御には、優れた清潔さを維持するために、優れたソフトウェア - 管理システムが一致する必要があります。オペレーターによると、クリーンルームの運用管理によると、クリーンルームで使用されている元の材料、機器、および物事について説明します。クリーンルームシステムは、空調システムとして知られているだけでなく、プロセス機器も含まれています。このセクションでは、2つのシステムの操作とメンテナンスの簡単な説明を示します。

まず、汚染源制御

クリーンルームの清潔さのメンテナンスと制御は、ハード機器への投資に加えて、適切な清潔さを維持するために、適切なソフトウェア管理システムも必要です。クリーンルームでのマイクロ汚染源であるテストと分析の結果、オペレーターは約80％を占めました。

クリーンルームの汚染源は、外部汚染と内部汚染源に分けることができます。外部汚染源には、主にエアコンの空気供給、ギャップ浸潤、建物、オーバーオール、ダクト材料、およびN2、O2、空気、給水、溶媒などの一般的なガスが含まれます。内部汚染源には、プロセス機器、ワーカー、ツール、処理プロセス、コンパートメント材料、作業台、包装材料などが含まれます。

シリコンチップの場合、ダスト粒子の接着は積分回路の変形または短絡を引き起こし、チップはその動作機能を失います。したがって、ミクロ汚染ソースの制御は、クリーンルーム管理の重要な部分になりました。表1は、自然環境で測定された粉塵濃度を示しています。これは、設計参照として使用できます。マイクロポールコントロールには、4つの基本原則があります。

1.外部ダストの侵入の防止：クリーンルームの操作とメンテナンス管理

クリーンルームの適切な陽圧維持（> 0.5MMAQ）、建設作業を漏らしないでください。人員機器や原材料がクリーンルームに移動する前に洗浄や拭き取りなどの粉塵や拭き取りなど、洗浄や拭き取りなど、適切に管理して設定します。エア・フィルター。 。

2.屋内ダスト予防：クリーンルームの操作とメンテナンス管理

パーティションボード、床、プロセス機器のダスト抑制、生産自動化、人員の非組み立て、動きの緩和、清潔な衣服の管理、クリーンルームの特別なデバイスの使用など、クリーンルームの材料の適切な選択。

3.屋内のほこりは蓄積しません。

壁には滑らかで、死んだ角度がなく、クリーンルームは定期的に維持されて洗浄する必要があり、プロセス機器の周りにスペースを残す必要があります。

4.ほこりの除外：

空気の変化の数は十分でなければならず、適切なスペースの配置と排気ガスとエアコンの供給源の気流速度が適切でなければなりません。

部屋に入る人々の管理上の問題、実際の労働条件とエンジニアリング管理の問題、屋内空調と清掃関係の問題、これらの問題については、次のセクションで説明します。クリーンルームの操作とメンテナンス管理